제품

반도체 공정관련 AI Agent 솔루션, 반도체 시스템, 반도체 부품, 지능제어 관련 서비스를 제공합니다.

187

완료된 프로젝트

200

고객사

25

전문가 인력

5

AI프로젝트

반도체 AI 플랫폼

Wafer 제조 공정에서 발생하는 대규모 센서 데이터, 설비 로그, 품질 지표, 공정 조건 등의 데이터를 수집·분석·학습하여, 공정 제어 최적화, 이상 탐지, 수율 예측, 공정 자동화를 지원하는 통합 인공지능 기반 시스템입니다.

산업용 범용 AI Agent 도입후 반도체 공정에 맞게 최적화하는데 드는 시간과 비용을 절감시켜 줄 수 있습니다.

반도체 공정 맞춤형 서비스 제공

로그 데이터 자동 분석

공정 이벤트 사전 예측

장비 이벤트 사전 예측

SemiLLM은 반도체 설계 및 제조 과정에서의 의사 결정 지원, 최적화, 그리고 작업자들을 위한 챗봇 인터페이스 등 다양한 방식으로 활용될 수 있습니다. 또한, 기업들은 이를 기반으로 자사에 특화된 모델을 구축하여 활용할 수 있습니다

반도체 전문 지식 학습

SemiLLM은 반도체 관련 방대한 텍스트 데이터를 학습하여, 해당 분야의 복잡한 물리 및 화학적 프로세스를 이해하고 처리할 수 있도록 설계되었습니다.

오픈 소스 프로젝트

다양한 기업들과 협업을 통해 반도체 산업 전반에서의 혁신과 협업을 촉진하고자 합니다.

성능 향상

SemiLLM은 기존의 범용 LLM보다 반도체 제조 및 설계 작업에서 우수한 성능을 보여주며, 새로운 칩의 시장 출시 시간을 약 30% 단축할 수 있을 것으로 기대됩니다.

SemiLLM 72B AI Agent Workflow by NUFS

반도체 시스템

반도체 CVD / ALD Self Uniformity System: Wafer 상에 증착 두께의 비균일성이 발생할 경우, 칩의 성능 저하나 수율 저하로 이어질 있습니다. 이를 해결하기 위해 도입되는 것이 바로 Self Uniformity System으로 반도체 CVD, ALD 웨이퍼의 증착 Uniformity(균일도)를 AI 기반으로 스스로 맞추는 시스템
Plasma Arcing 방지 Monitoring System: 반도체 공정에서 Plasma Arcing은 장비 손상이나 공정 불량을 유발할 수 있는 심각한 문제입니다. 이에 따라 Plasma Arcing 방지 Monitoring 시스템은 이러한 이상 현상을 조기에 감지하고 대응하기 위해 개발된 시스템
MFC (Thermal / Pressure) System: 반도체 CVD, ALD, Etching, Oxidation 등 가스 기반 공정에 사용되며, 정밀한 유량 제어를 통해 공정의 품질, 균일성, 안정성을 확보
Intelligence Heat Management Software System: 반도체 공정 장비 내에서 발생하는 열의 분포와 변화 상태를 실시간으로 모니터링하고, 분석하며, 제어 최적화 알고리즘을 통해 열 균형을 유지하는 스마트 제어 시스템

반도체 제조 공정의 품질과 효율성을 높이고, 비용을 절감하며, 제조업체 및 공정엔지니어의 경쟁력을 높여주고, 반도체 산업 전반에 걸쳐 혁신을 가속화 시킬 것으로 기대됩니다.

예지보전 (Predictive Maintenance)

장비 이상 징후를 조기에 포착하여 비가동 시간 최소화, 유지보수 비용 절감

공정 최적화 (Process Optimization)

수율 향상, 균일도 개선, 불량률 감소

효율적 운영 (Operational Efficiency)

에너지 사용 최적화, 자원 낭비 감소

AI 기반 자동 보정 (Auto Tuning)

공정 조건 변화에 자동 대응, 작업자 개입 최소화

지식 기반 업무 지원 (AI Agent/LLM)

작업자 의사결정 지원, 기술 전수 간소화

반도체 부품

Smart Bellows: 델타 포지셔닝 시스템이 움직였을 때 상하 어긋남으로 벨로우즈의 손상을 방지
Smart Lift Pin: 반송로봇이 웨이퍼를 투입했을 때 AI 소프트웨어로 미끄러짐 방지와 수평 레벨을 유지하도록 각 pin의 높이를 조정
Smart Wafer Centering: 반송로봇이 웨이퍼를 투입했을 때 AI 소프트웨어로 공정 centering을 수행
DC Motor Linear Motion Position Control : DC 모터 기반의 직선 운동 위치 제어는 회전 운동을 선형 운동으로 변환해 특정 위치에 정밀하게 도달하도록 제어하는 기술

부품내 내장된 센서, 통신, AI, 자가진단 기능 등을 통해 실시간 데이터 수집 → 분석 → 제어까지 가능하여 이상징후 조기감지 및 정밀제어로 수율향상에 기여할 수 있다

실시간 상태 모니터링

부품 내부 센서로 온도, 압력, 진동, 전류 등을 실시간 모니터링하여 이상 여부를 자동 감지함

공정 품질 향상

정밀 센싱 + 자동 피드백으로 온도, 진공, 유량 등 제어 안정화 → 균일도 및 수율 개선

유지보수 효율 향상

자가진단 기능으로 원인 신속 파악 → 수리 시간 단축 & 불필요한 부품 교체 방지

예지보전(Predictive Maintenance)

수명 예측 알고리즘 + 누적 사용 데이터를 바탕으로 교체 시점 안내 → 다운타임 최소화

지능제어

RPS, PPS Controller: 반도체 CVD/ETCH Plasma 반응기 제어

Sputter End Block Controller: 디스플레이 스퍼터링 장비 위치 제어

Vacuum Gate Valve Controller: CVD, ALD, Etch, Sputtering 등 공정 챔버 내 밸브를 타이밍 시퀀스에 맞춰 개폐하고 진공 상태를 유지할 수 있도록 제어하는 시스템

AMR(Autonomous Mobile Robot System) : 염전/건설 미장 로봇

 후각 장애 진단 시스템 발향 제어기 : 이비인후과, 알츠하이머성 치매 전조증상, 파킨슨병 등 다양한 질병의 전조증상/동반증상인 후각  장애 검사 장치의 발향 제어 시스템

반도체 플라즈마 장비 배기구 처리 POWER 제어 시스템 : 반도체 플라즈마 장비 Scrubber 파워 제어 시스템 

문자발신기: 채널 접점 센서에 비상상황 발생시 SMS 발송에 필요한 지정 수신인/ 문자 제어 시스템    

기존의 고전적 제어 시스템(PID 제어 등)이 고정된 알고리즘에 따라 움직이는 데 반해, 지능형 제어는 AI, 머신러닝, 퍼지 제어, 뉴럴 네트워크, 디지털 트윈 등을 이용해 복잡한 상황에도 유연하게 대응합니다

정밀 제어 성능 향상

기존 제어보다 더 정밀한 튜닝과 동적 반응 가능 → 공정 품질 향상

자율 판단 기능

AI 또는 rule-based 알고리즘이 상황을 분석하고 자동으로 적절한 제어 결정을 수행

에너지 및 자원 최적화

필요한 만큼만 작동하도록 제어 → 에너지 소비 및 운영 비용 절감

장애 대응력 향상

예외 상황 발생 시 대체 경로나 보정 시나리오 자동 실행 가능

시스템 통합 및 확장성

다양한 장비 및 센서와의 연동이 쉬워 확장성 및 시스템 통합 용이
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기술 및 개발 문의

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